Atatürk Üniversitesi Atatürk Üniversitesi
Ara
Yayınlara dön
Bildiri Tam Metin Bildiri Uluslararası 2018

RF magnetron saçtırmalı 푮aN/풏− 푺İ (ퟏ00) ince filmlerin fizikselözellikleri ve büyümesi: Azot gaz akış bağımlılığı

ASİM MANTARCI, Mutlu Kundakçı

1st INTERNATIONAL ENGINEERING AND TECHNOLOGY SYMPOSIUM 03.05.2018–05.05.2018 · 03.05.2018

Atıf için künye

MANTARCI, A., & Kundakçı, M. (2018). RF magnetron saçtırmalı 푮aN/풏− 푺İ (ퟏ00) ince filmlerin fizikselözellikleri ve büyümesi: Azot gaz akış bağımlılığı. 1st INTERNATIONAL ENGINEERING AND TECHNOLOGY SYMPOSIUM.

BibTeX
@inproceedings{mantarci2018-63766,
  author = {MANTARCI, ASİM and Kundakçı, Mutlu},
  title = {RF magnetron saçtırmalı 푮aN/풏− 푺İ (ퟏ00) ince filmlerin fizikselözellikleri ve büyümesi: Azot gaz akış bağımlılığı},
  booktitle = {1st INTERNATIONAL ENGINEERING AND TECHNOLOGY SYMPOSIUM},
  year = {2018},
  url = {https://akademik.atauni.edu.tr/yayinlar/63766-rf-magnetron-sactirmali-an-i-00-ince-filmlerin-fizikselozellikleri-ve-buyumesi}
}