Atatürk Üniversitesi Atatürk Üniversitesi
Ara
Yayınlara dön
Bildiri Tam Metin Bildiri Uluslararası 2018

Azot gazı akışının rolü üzerine bir çalışma: RF magnetronsaçtırmayla üretilen 푮aN/풑 − 푺İ ince filmlerin karakterizasyonu

ASİM MANTARCI, Mutlu Kundakçı

1st INTERNATIONAL ENGINEERING AND TECHNOLOGY SYMPOSIUM 03.05.2018–05.05.2018 · 03.05.2018

Atıf için künye

MANTARCI, A., & Kundakçı, M. (2018). Azot gazı akışının rolü üzerine bir çalışma: RF magnetronsaçtırmayla üretilen 푮aN/풑 − 푺İ ince filmlerin karakterizasyonu. 1st INTERNATIONAL ENGINEERING AND TECHNOLOGY SYMPOSIUM.

BibTeX
@inproceedings{mantarci2018-63705,
  author = {MANTARCI, ASİM and Kundakçı, Mutlu},
  title = {Azot gazı akışının rolü üzerine bir çalışma: RF magnetronsaçtırmayla üretilen 푮aN/풑 − 푺İ ince filmlerin karakterizasyonu},
  booktitle = {1st INTERNATIONAL ENGINEERING AND TECHNOLOGY SYMPOSIUM},
  year = {2018},
  url = {https://akademik.atauni.edu.tr/yayinlar/63705-azot-gazi-akisinin-rolu-uzerine-bir-calisma-rf-magnetronsactirmayla-uretilen-an}
}