Atatürk Üniversitesi Atatürk Üniversitesi
Ara
Yayınlara dön
Makale Tam Makale Ulusal 2025

RF ve DC Magnetron Püskürtme Tekniği ile Büyütülmüş Ni Katkılı α-Fe2O3 İnce Filmin Optik, Yapısal ve Morfolojik Özellikleri

maryam abdolahpour salari, Günay Merhan Muğlu, Volkan Şenay, Sevda Sarıtaş

Osmaniye Korkut Ata Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi (Online) Cilt 8 · Sayı 2 · ss. 580–597 · 12.03.2025
DOI ile aç

Özet

Bu araştırmada, doğru akım (DC) ve radyo frekansı (RF) magnetron püskürtme tekniği kullanılarak cam alttaş üzerinde Ni katkılı hematit (α- Fe2O3) ince film sentezlenmiştir ve üretilen filmin birçok fiziksel özellikleri araştırılmıştır. Elde edilen Ni katkılı α-Fe2O3 ince filmin optik, yapısal ve morfolojik analizleri, UV-VIS spektroskopisi, EDX, X-ışını kırınımı (XRD), taramalı elektron mikroskobu (SEM) ve atomik kuvvet mikroskobu (AFM) kullanılarak belirlenmiştir. Absorbsiyon ölçümüne dayanarak, ince filmin bant aralığı enerji değeri 2,12 eV olarak hesaplanmıştır. XRD analizi, incelenen ince filmin nanokristalin yapıya sahip olduğunu göstermiştir. SEM görüntüsüne göre ince film alttaş boyunca düzgün bir yüzey morfolojisi sergilemiştir. Ayrıca AFM görüntüleri, düşük bir RMS pürüzlülük değeri ortaya koymuştur ve bu da Ni katkılı Fe2O3 ince filminin pürüzsüz bir yüzeye sahip olduğunu göstermektedir.

Atıf için künye

salari, M. A., Merhan Muğlu, G., Şenay, V., & Sarıtaş, S. (2025). RF ve DC Magnetron Püskürtme Tekniği ile Büyütülmüş Ni Katkılı α-Fe2O3 İnce Filmin Optik, Yapısal ve Morfolojik Özellikleri. Osmaniye Korkut Ata Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi (Online), 8(2), 580–597. https://doi.org/10.47495/okufbed.1527590

BibTeX
@article{salari2025-293592,
  author = {salari, maryam abdolahpour and Merhan Muğlu, Günay and Şenay, Volkan and Sarıtaş, Sevda},
  title = {RF ve DC Magnetron Püskürtme Tekniği ile Büyütülmüş Ni Katkılı α-Fe2O3 İnce Filmin Optik, Yapısal ve Morfolojik Özellikleri},
  journal = {Osmaniye Korkut Ata Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi (Online)},
  year = {2025},
  volume = {8},
  number = {2},
  pages = {580--597},
  issn = {2687-3729},
  doi = {10.47495/okufbed.1527590},
  url = {https://akademik.atauni.edu.tr/yayinlar/293592-rf-ve-dc-magnetron-puskurtme-teknigi-ile-buyutulmus-ni-katkili-a-fe2o3-ince}
}